第512章 研究经费
对于光刻胶的发展,目前可以分为四个阶段,KTFR光刻胶、g线/i线光刻胶、KrF光刻胶以及ArF光刻胶。zWWx.org ArF光刻胶是世界最新的光刻胶技术,它继承了KrF光刻胶的基础,也属于化学放大光刻胶。 半导体工艺开发联IMEC正式将ArF光刻胶用作两千年下一代半导体0.13μm工艺的抗蚀剂。 只是相对于世界前沿的光刻胶技术,华夏的光刻胶发展简直称得上可怜。 华夏光刻胶的研究始于六七十年代,六七年的时候,华夏KPR型负性光刻胶就已经投产。 七零年,103B型、106型两种负胶投产,环化橡胶系负胶BN-302、BN-303也相继开发成功。 当时华夏的技术虽然比不上美国,但与日本研究时间相同,技术水平也相差无几。 只是之后因为种种原因,差距越来越大。 现在产品已经发展到ArF光刻胶阶段,而国内还在KTFR光刻胶阶段,后续研究一直停滞,相差三代。 这不仅仅是因为资金不够的原因,更大程度是因为电子行业与军事紧密相关,国外技术封锁,很难交流。 现在电子工业发展迅速,而华夏芯片的劣势也越来越明显,就靠着一些企业自己研究发展,进展缓慢,所以,政府想要重启光刻胶的研究。 江小溪听到这里,作为重生的人自然知道光刻机,一直到2020年,华夏的高端芯片依旧受制于人,而半导体工业中,下游设计已经迎头赶上,处于世界第一梯队,而上游设备和材料领域却依旧落后。 以光刻胶为例,国外g线/i线光刻胶七十年代投产,KrF光刻胶八十年代投产,现在ArF光刻胶两千年投产。 可是华夏呢,2020年的时候,光刻胶企业仅有北京科华微电子的KrF光刻胶可以量产供应,与国外有着将近四十年的差距。 好在现在研发虽然不是最优的时候,但是也不晚,两千年只是一个开始,现在着手还来得及。 方主任把大概情况介绍完了,看到江小溪一直在沉思,他没有立刻询问江小溪,而是喝起茶来,让江小溪好好想一想。 路院长看着两个人不说话了,他和费院士其实是有些着急的,因为光刻胶这个项目已经封尘很多年了,就算有研究也因为经费问题很难继续,而现在时间紧迫,要是再不重启,那真的就晚了。 路院长等了一阵子,看着江小溪还在发呆,又转头看看方主任依旧在喝茶,喝喝喝,都喝了好几杯了。 于是,咳嗽了一声对江小溪说道:“江总,光刻胶的项目真的刻不容缓,虽然确实费用高,攻克难,但是你放心,我们所肯定全力研究,一定在十年之内给你拿出成果!” 江小溪听到他说话,抬起头来看着路院长。 路院长看江小溪没说话,顿了一下,改口说道:“八年、八年也长那就五年、五年我们肯定能研究到g线/i线光刻胶,到时候就能变现了。江总,你可能不太了解,光刻胶虽然投入大,但我保证,这项技术的收益也大。” 这个时候方主任也说道:“确实,投资和收益都是成正比的,只要有成果,江总放心,收益肯定不小。” 江小溪点点头问道:“五年肯定能出成果吗?” 路院长咬咬牙说道:“肯定能,我保证!” 江小溪问道:“现在咱们跟人家差距三代,就算是g线/i线光刻胶也只是人家七八十年代的产物,那么我们研究到ArF光刻胶,需要多长时间?” 路院长顿了一下,叹了一口气说道:“江总,不瞒你说,要研究到ArF光刻胶投产我心里也没数,这技术已经不是我们研究所说研究出来就能出结果的,这涉及到相关技术设备的,国产的设备达不到,对于我们研究影响很大。” 江小溪想了想说道:“光刻胶确实很重要,我可以赞助。” 听到这个回答,想要很多说服方案的方主任和路院长都愣住了,不可置信江小溪这么轻松就答应了。 谁都知道路院长五年的保证很是勉强,连他自己都抱着先研究五年是五年的想法说的。 江小溪没等他们高兴继续说道:“方主任,虽然我答应投资,但是我有条件。” 方主任刚要露出的笑脸脸色一正,严肃地说道:“请说。” 江小溪说道:“我可以投资发展光刻胶,但是你也听到了,现在光刻胶的研究技术有一部分是受制于相关技术设备的发展。你要研究技术,不能不把设备整好吧。要养羊,不能不给草原让吃土吧。我要求被套的技术设备研究也要跟上。” 方主任听到这个,一脸难色地说道:“江总,不是我不想给你配齐,主要是咱们国家现在发展迅速,哪哪都要钱,这个技术设备迭代也不比光刻胶研究的费用少啊,我只能说尽量。” 江小溪转头问路院长说道:“那咱们研究所有没有门路购买国外的先进设备?” 听到这个路院长犹豫了一下说道:“有倒是有,就是费用太高了。” 方主任赶紧说道:“我这边也能出力,讲讲价。” 江小溪点头说道:“关于研发方面我是什么都不懂,就要靠路院长和费院士了。不过,我有一点要说明,要用最先进的设备尽快开发出成果,设备和材料的钱不能省。” 路院长使劲点点头。 方主任对路院长说道:“那这份预算就不够了,老路你在把预算重新算一下。” 还没等路院长说话,江小溪就问道:“不用太仔细,路院长你就说个大概的数。” 路院长有些不安地搓了搓手说道:“大概、大概八千万吧。” 江小溪问道:“已经包含设备了?” 路院长说道:“g线/i线光刻胶是老技术,研究设备的要求不是很高。” 江小溪想了想说道:“这样,今年我投资三个亿,要买最好的设备,尽快把g线/i线光刻胶技术研究出来,最好KrF光刻胶以及ArF光刻胶都能用。”么白的重生,我在八十年代投机倒把